研究紹介

研究領域 2電子材料

半導体製造に用いられる各種材料の機能発現の理解を深め、その探究を通して競争力のある製品創出に取り組んでいます。

概要

JSRは長年培ってきた化学技術を生かし半導体の製造に用いられる材料を開発しています。フォトレジスト、多層ハードマスク、実装材料、CMP(Chemical Mechanical Planarization:化学的機械的研磨)用材料など高品質で多様な市場ニーズに対応しています。半導体の微細化は進化を続けており、その材料開発には極めて高度な技術が必要です。

東京大学大学院理学系研究科物理学専攻の統計力学、量子理論、シミュレーション技術に関する学問領域と電子材料分野で培ったJSRの化学技術を融合し、競争力のある製品創出に取り組んでいます。